重生2008:我阅读能赚钱正文卷第429章欣喜:单晶硅棒突破</p>
9月20日上午十点钟,沐阳正在办公室里看资料,突然收到硅厂的消息,一直凝视资料毫无波澜的脸荡漾出喜悦。</p>
适用于集成电路行业的半导体硅片对产品质量有极高的要求,纯度必须达到99.99999999%以上,最先进的工艺则需要达到99.999999999%。</p>
出口要求,一般要达到9N。</p>
现在国产硅棒,能达到11N是有,但生产极不稳定,成本会高许多。</p>
沐阳的要求,要稳定达到12N,而且生产成本不能太高。</p>
硅棒指标当然不止纯度,还有结晶构造、平坦度等,也要满足电阻率、碳残余量、厚度、翘曲度、表面金属残余量等各类参数指标要求。</p>
但纯度就是核心,尺寸就是成本,这么说有些片面,但也没错。</p>
沐阳放下资料,喊上司机准备车。</p>
硅厂不在总部基地这边,而是在星海集团2号工业园区,即阳富区工业园区。</p>
三分钟后,沐阳坐上未来01,向硅厂方向驶去。</p>
半个小时后,沐阳来到了实验车间,换上白色无尘服装和熟胶手套,戴上口罩,全身严实,只留下一双眼睛。</p>
在入口处按了下指纹,验证人脸,才能真正进入实验车间。</p>
九月份的天气非常炎热,还好车间是恒温车间,温度只有二十摄氏度,要不然,穿着一身包裹得严实的衣服,那得多难受。</p>
但就算如此,沐阳还是感到一些不习惯,特别是几年不戴口罩了,感受呼吸不是很顺畅。</p>
在后世,戴口罩戴习惯了,一天不摘下来感觉也没事儿,就耳朵根被勒得有些疼而已。</p>
走在车间里,没有人认出沐阳。</p>
路过的一位员工看到他没有佩戴员工牌,衣服背面也没有个人名字标识,赶紧走回去挡住他</p>
这个时候,沐阳才想起,他没有生气,反而是笑了笑,不过,眼前这位员工也是看不到他笑。</p>
沐阳摘下口罩,露出一个笑脸,然后又重新戴好口罩</p>
他这么一说,眼前这位年轻员工恐慌起来,向沐阳深深鞠躬∶</p>
「没事,你做得很好,警惕性很高,我路过几个同事,都没注意到这点。说到底就是我的问题,没有制作自己的标牌。「沐阳挥挥手笑道。</p>
「谢谢董事长,我真的没认出来。「</p>
说完后,这员工快步离开,感觉太尴尬了,幸好董事长不在意,还表扬了他。</p>
沐阳来到一台XH1200型单晶炉前,此时有七八位员工正在设备外围交流,看到沐阳,这些员工还是没认出来。</p>
技术经理向海,见过沐阳多次,也知道沐阳要来,通过他的身材和眼神认出来,然后走过去打招呼:</p>
向海这么一喊,其他员工血压瞬间飙升,眼前这位竟然是董事长!</p>
「嗯,说说具体情况。「沐阳点头。</p>
向海说道∶「我们眼前这台设备,昨天开始试制样品,理论最大熔料量达到1200公斤,我们放了1000公斤。</p>
设备可拉制12英寸到14英寸的单晶硅棒,目前正在生产的</p>
是12英寸的硅棒,尝试全长度尺寸怎么样。</p>
昨天,我们试制了两根一米长度的单晶硅棒,以测试结果来看,各种指标达到了高端手机芯片的硅材料要求,生产效率比常规的每小时提拉10厘米要快一倍左右。</p>
当然,离我们制定的要求,还是有一些差距,有不少小瑕疵,比如硅纯度达到了11N,但不管怎么样调试,都达不到12N,我们正在找原因,还没找到。」</p>
星海集团目前使用的硅精练方法是提拉法。</p>
先把熔化的Si放在石墨坩埚里面,使用感应法加热,之后又放在石英容器里,通过纯氢气体作为清洁氛围。再把作为种子的籽晶放在垂直棒的前端,再放入熔化的Si里面。</p>
因为籽晶表面会吸附熔化物,在垂直棒不断缓慢旋转和提拉的过程中,可以长出直径比籽晶大得多的体材料晶体。</p>
这有点像两根筷子插入盛满面条的锅里,筷子夹紧的几根面子就像是,吸附锅里的其它面条,随着筷子旋转,然后提升,越来越多的面条被卷入筷子中。</p>
而且,被卷入的面条排布得比较整齐,其实提拉法还利用到了旋转重力的作用,能够均匀地分布熔化的硅,同时通过轴的旋转,控制了硅温度和几何构性的不均匀性。</p>
沐阳说道</p>
向海点头,走到一根未切割的单晶硅棒前,长度约一米多,外径是12英寸,这一根硅棒,也有一百多公斤。</p>
沐阳蹲下来观察,用手抚摸硅棒表面,赞道∶</p>
沐阳检查完这根未切割的单晶硅棒,再检查另一根已经切割过的硅棒样品,已经切割了一半。</p>
单晶硅棒是先用线切割机把两端锥形料头切割掉,如果硅棒很长就分段,否则太重不好搬动和加工,车外圆,然后再用真正的切片机切晶圆片。</p>
用切片机切片,效率会快许多,切割平面度会更好一些,也不容易碎,如果是线切割,比较粗糙。</p>
刚切下来的晶圆片厚度不到一毫米,还要继续打磨、研磨,直到符合设计的厚度要求。</p>
切片厚度主要看材料韧性情况和切片机的性能,如果很容易切碎,那就切厚一点,而且直径越大,切片难度越大,所以12英寸的切割厚度要比8英寸的肯定要厚一些。</p>
这也没法,单晶硅的韧性很差,实际上就是脆性材料。</p>
最终芯片的成品厚度一般在0.3毫米以下,薄的话可以达到0.1厚米左右。</p>
沐阳拿起一片晶圆片,从外观看上去,平面度不错。</p>
向海说</p>
沐阳点头,他理解其中的难度,就算每个零部件都按照图纸生产,工艺按照他的做,但设备组装肯定存在误差,生产环境同样有影响,还有其它因素,最终都影响到单晶硅纯度与其它性能。</p>try{ggauto();} catch(ex){}
如果能达到目前的情况,的确可以开始尝试量产了,即使离他设计的理论值还差一些。</p>
他的要求,只是想以此为基础,制造更好的芯片而已,比如用在高端手机和高端电脑上的芯片,对纯度要求就这么高,再差也要达到10N。</p>
而且,硅棒的其它指标都达到了世界顶尖水平。</p>
可以说,星海集团已经制造出世界顶尖的硅棒了,就看接下来的</p>
量产情况了。</p>
沐阳说出他的要求,接下来,他亲自检查问题根源,从氢气的纯度和流量大小、硅原材料、单晶炉工作温度与湿度等等一一排除。</p>
他熟悉所有设备和工艺流程,但没有这方面的实践经验,在灌输技术过程中,大脑中给他的,与实际还是有些差异,需要走一遍,融合得更好。</p>
就如大脑说∶</p>
手说∶</p>
道理是一个样的,沐阳没有实践,没有产生肌肉记忆。</p>
他忙了一个小时也没查出什么问题,也到了上午下班时间,吃过午餐,休息了会,下午继续投入其中,也没查出有什么问题。</p>
沐阳让实验室的设备组装人员再组装新的设备,他要从头看他们组装,直到生产投入。</p>
接下来的几天时间,沐阳跟单晶硅棒生产直接耗上了,期间他还亲自组装调试设备。</p>
国庆放假前两天,又组装了一套设备出来,进入设备调试中,准备试生产。</p>
这期间,最早组装的两套设备生产出来的单晶棒的纯度还是11N。</p>
沐阳重视的设备能耗、生产效率,都达到了预期目标,但就是硅纯度还达不到设计要求。</p>
到了9月30日。</p>
沐阳投入硅纯度工作入魔了,如果新装的设备还达不到要求,那就歇息一段时间,不能继续较劲。</p>
阅读系统帮沐阳快速掌握知识,但没法帮他分析问题,更不能帮他查找问题根源。</p>
新的一套设备,生产出来的单晶硅棒,经检测后,纯度还是老样子,没有提升。</p>
沐阳看到这个结果,皱眉</p>
向海点头,但想了下,说</p>
沐阳摇头,叹了口气∶「这种情况,想不通的事,就算加班也没用,也许我们这些天,都跳进死胡同去了。</p>
你们能够把设备组装成功,连续结晶成功,成品率和其它指标也达到了世界顶尖水平,已经算是成功了,是我有些较劲了。「</p>
这些天,他们排除了操作问题、原料问题、坩埚质量问题、热循环也没有什么问题,拉速这些,也没啥问题。</p>
就是,找不到问题原因。</p>
一名测试工程师说了句</p>
这名员工的提醒,沐阳好像搞明白原因了,向这位测试工程师说∶</p>
仪器误差存在很正常,比如显示220V,说不定实际只有215V,一般人不会太计较这点事,但对单晶硅棒生产来说,说不定就有影响。</p>
很快,电气工程师排查出来电流电压稍微有些不稳定,稳压表灵敏度没有调合适。</p>
虽然炉内温度符合要求,但时高时低,对生产就有影响。</p>
「虽然查出稳压系统的稳压表有问题了,但它有没有影响到单晶硅棒的纯度,我们还不知道,等国庆收假后再试验吧。「</p>
沐阳说完后,就离开了实验车间。</p>
实验车间的二十几名研发人员看到董事长离开,再看看刚刚组装好的新设备,</p>
也来不及试生产。</p>
一位员工说</p>
向海说「单晶硅棒生产对我们公司来说非常重要,芯片制造是董事长的梦想,同样也是我们的梦想。</p>
国产高端芯片能不能够实现,说实话,整个华国,就看我们公司了。</p>
现在,我们已经生产出合格的单晶硅棒,但董事长还不够满意,还达不到他的要求,这种精益求精、勇攀高峰的精神,值得我们学习,大家千万不要有一丁点成绩,觉得我们达到世界第一了就骄傲自满。</p>
董事长虽然表扬了我们,但他自己也有很大压力,只是没有跟我们说而已,要不然,他也不会亲自下手调试设备,跟我们一起耗在实验室里,你以为他很闲呀。</p>
你们看看这段时间,哪怕抛弃董事长本身的身份,就说他的操作动手能力,比我们这些人强太多了,我们要学的东西太多了。」</p>
大家从心里敬佩沐阳,再看看刚组装好的设备,硅纯度的问题就像一根刺,卡在喉咙里,解决不掉,心里就不踏实,还不太想离开实验室。</p>
「董事长不让我们加班呀。「</p>
技术经理向海说</p>
向海听到大家都同意自愿加班,说道</p>
「没什么急事,还有什么事比得上我们遇到的问题的。「一名研发人员笑道。</p>
」你呢,不是说今晚要陪女朋友逛街看电影吗可以不来。」</p>
」取销吧,其实我也不想看那种爱情片,现在正好有借口不去了,哪有搞科研激情。」</p>
」爱情片可以呀,岂不是更有激情。」</p>
几个研发人员的打趣,感觉轻松多了。</p>
接下来的两天,这些研发人员开始验证电流电压稳定之后的生产情况。</p>
又是五天后,10月8日。</p>
刚上班没多久,沐阳再次来到了硅棒实验车间,找到向海,让他开始验证。</p>
向海有些不好意思说「董事长,其实,我们已经验证过了。「</p>
沐阳有些不明白</p>
说完后,大概明白了,严肃问,</p>
一名研发人员看到沐阳的表情,赶紧解释∶</p>
沐阳开心一笑「我也没怪你们,结果怎么样「</p>
他这么一说,向海和周围的研发人员松了一口气,真怕董事长把他们骂一顿。</p>
向海说「我们生产了两根一米多长的单晶硅棒,经过验证测试,硅纯度稳定在12N以上,的确是电流电压不稳造成。「</p>
沐阳闻言,十分高兴,</p>
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