七月初，海湾科技再一次给徐申学报喜，说是已经研发出来了DUV干式光刻机的样机，正准备进行第一次开机测试。</p>
得到这个消息后，徐申学推掉了其他的行程，当天就去了海湾科技。</p>
抵达海湾科技后，王道林一脸喜色的带着徐申学参观了他们最新的研发成果：一台完全自研的DUV干式光刻机。</p>
“从光源系统到物镜，再到机台等所有的子系统整合以及部分关键零部件，都是由仙女山控股旗下或柳河投资，智云科技旗下的兄弟公司所提供，此外这些子系统的背后所需要的众多零部件，除了我们自家的兄弟公司外，还有其他超过一千多家国内企业供应。”</p>
“参与这个项目研发的企业数量，直接或间接达到了接近两千家，各类研究所一百多家，还有十多所著名高校也都参与了进来！”</p>
王道林说着的时候，激动中更带着感叹：“这可是真正的举国之力才能搞出来的顶级设备啊！”</p>
“我们硬是靠着一家之力，做到了整个欧美日韩整个西方体系整合起来才能做到的事情，这难度，比单纯研发一个光刻机更难。”</p>
“如果是依托全球产业链，搞这东西虽然技术难度很高，但是我们要做的也只是系统整合工作而已，难度虽然有，但是不至于有什么代差，给我们ASML的零部件供应商，我都敢放话，最多一年时间就能够弄出来DUV浸润式光刻机甚至进军EUV光刻机！”</p>
“但是我们没有这些全球范围的供应商啊，所以很多东西都只能自己在国内找，实在找不到就只能自己从头研发！”</p>
“DUV光刻机的全部国产化，其难度大的惊人！”</p>
“很多东西都要从原材料开始研发！”</p>
王道林说着的时候，一旁的南江科技的研发部门负责人曹星辰也是接上了话头：“不错！”</p>
“我们公司是搞物镜，为了这个DUV光刻机的物镜，我们是从材料到加工工艺，全都是重新搞的！”</p>
“我们南江科技主导，还拉着一大票研究所，合作企业，同时展开了数十个新材料研究项目，挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”</p>
“最终花了两年多时间，这才弄出来了堪用的材料！”</p>
“但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”</p>
“这加工更难！”</p>
曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研发困境，不由得感叹：“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这DUV干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”</p>
“这种精度的加工，几乎超过普通人的想象！”</p>
“而我们南光之前在生产I-line光刻机镜片以及KRF光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”</p>
“原有的这些技术用来加工DUV光刻机所需要的镜片还不够！”</p>
“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”</p>
“为了解决这一问题，我们的研发团队一边现有技术进行研发，一边开发新技术，其中的一项新技术得到了迅速发展，这就是离子束抛光技术。”</p>
说到这个离子束抛光技术的时候，曹星辰整个人都变的激动了起来：</p>
“这项技术虽然也很难研发，为此耗费了我们大量的人力物力，但是真正做出来后效果那是真的好啊！”</p>
“利用该技术我们可以轻易的加工出来满足DUV干式光刻机需求的镜片，甚至后续工艺继续改进后，搞出来DUV浸润式光刻机的镜片也是问题不大！”</p>
DUV干式光光刻机和浸润式光刻机，虽然使用的光源都是ARF光源，但是浸润式光刻机的光源经过超纯水的折射后，波长却是演变为134纳米。</p>
因为两者虽然光源系统看似一样，但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。</p>
曹星辰继续说着：“甚至在这项技术上继续耕耘下去，未来是能够搞出来精度更高，可用于EUV光刻机所需要的镜片的！”</p>
一代代光科技的技术升级，除了光源系统不断升级进步外，还需要其他诸多子系统的配合，而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。</p>
以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。</p>
当然，其他方面，比如机台对准等也不能差就是了。</p>
徐申学听着这些话，然后翻看着手中的技术手册，为了照顾徐申学这个不懂技术的人，这份技术手册用简单易懂的方式介绍了眼前的这台DUV干式光刻机的基本情况以及各子系统的情况。</p>
也就是之前徐申学常年给自己挂着一个B级科研名额的外挂，然后闲着没啥事的时候也会经常学习，翻看一些技术，尤其是半导体领域的技术资料。</p>
所以多少也能够看出来这技术资料上描述的各种技术参数，其背后意味着什么！</p>
就和王道林说的一样：这是一个举国之力才能够搞出来的顶级设备！</p>
而且准确的说，光刻机这东西到了现在，真正能够靠着一国之力做出来的，只有华夏了，其他国家因为全球化分工的缘故，哪怕是美国也无法单独做出来光刻机了。</p>
还是物镜为例子，主导的是南江科技，但是材料的研发实际上是和数十个研究所一起合作研发的。</p>
没有这么多材料研究所，高校配合你一起玩这东西，光靠南江科技自己那点材料研发人员，再过十年也搞不出来！</p>
镜片加工也是，虽然加工是南江科技加工的，但是很多设备其实都是众多科研所专门定制研发的。</p>
其中的核心设备离子束抛光设备，不少核心零部件是几家国内顶级的科研机构，一群大佬们带着众多科研牛马在实验室里做出来的。</p>
哪怕整个研发过程里，南江科技都是给了钱的，但是很多事情，就不是说给钱了就能找到人和机构给你研发的。</p>
你想要花钱搞这东西，你也得有这么一个庞大的国家，并且这个国家有充足的底蕴才行。</p>
徐申学合上了技术说明书，再看看前方的这台‘大柜子’，发出了感叹：“不容易啊，算起来也搞了好几年了，总算是看到这东西的真面目了！”</p>
感叹完，徐申学对着周边的一圈：“大家都辛苦了！”</p>
“来，让我们的大宝贝动起来，不是说要进行测试吗，让我看看代表我们最顶级的工业水准的真材实料如何！”</p>
王道林道：“好嘞，我们的测试工作之前就已经准备妥当了，就等着徐董你过来看呢！”</p>
海蓝科技这边，也有一个简单的测试用的小产线，有硅晶圆片以及其他的一些核心设备，进行生产不可行，但是进行测试则是问题不大。</p>
随着测试开启，无尘实验室里的科研人员也开始进行了操作，暖黄色的机房里早就准备好的硅晶圆片被喷涂上光刻胶，经过一系列操作后，再被送入光刻机的机台上进行光刻。</p>try{ggauto();} catch(ex){}
光刻机启动起来后，其实徐申学也看不到其内部的运转过程，毕竟光刻机工作对环境的要求非常高，除了极少数专属工作人员经过严密的除尘后可以进入外，普通外人是不能进去的。</p>
别说人不能进去了，这光刻机工作的时候，对光线都有要求……所以光刻机的测试车间里，灯光都是暖黄色的。</p>
因为其他色调的灯光，会影响到光刻机的光源波长……</p>
制造芯片可是当代人类最为巅峰的生产技术。</p>
如智云S303芯片，在指甲盖的芯片上，封装了足足七亿多个晶体管。</p>
其技术难度相当于在指甲盖大小的芯片上，雕刻一座规模庞大的超级城市，而且还是住满人的超级大城市。</p>
这种超高精度的加工，除了对设备要求极为苛刻外，还对环境要求也极为苛刻。</p>
为了避影响测试，徐申学其实从头到尾都没有进入过机房，只是在外头隔着玻璃看一眼看而已。</p>
而等测试开始后，为了避免外部光线进入影响测试，干脆是把玻璃窗都给遮挡了。</p>
如今的徐申学以及其他一群人，只能是在外头的观察室里，通过实验室里的摄像头进行观察。</p>
不过怎么说呢，芯片的生产虽然各种难，但是真正生产起来却是没有什么惊天动地的举动。</p>
甚至连声音也没有多大，震动更是没有。</p>
一旁的工作人员都不敢说话，害怕声音引起的震动影响测试……尽管这是他们的瞎担心。</p>
但是，在这种关键的试验测试里，很多人都是不由自主的谨慎了许多。</p>
里头的那台DUV干式光刻机，可是汇集了无数人的心血啊，多少人为这台光刻机的顺利诞生而呕心沥血啊！</p>
如今到了实际测试，看一看真本事的时候了，哪能不在乎、不小心啊！</p>
徐申学看着摄像机里的内容，整个芯片生产过程都是没有人工参与，全部都是自动化设备进行。</p>
没有多久，一旁的王道林就带着一丝激动站起来道：“光刻已经顺利完成了，后面就是要进行接下来的几道去胶等工序，然后我们就可以看到试验结果了！”</p>
徐申学一副镇定表情微微点头！</p>
看王道林这些人啊，就是眼界小了，格局差了，不过是第一遍光刻工序完成而已，这都是既定程序，没啥好惊奇的。</p>
不久后，随着多道后续工序完成后，王道林道：“现在基本工序已经完成了，接下来就可以用电子扫描镜进行观察了。”</p>
只是光刻试验而已，自然不需要正常芯片生产流程里的诸多后续工序，只需要光刻后进行去胶清洗等环节，做到能够观察其内部结构就行了。</p>
很快，这一片晶圆片就被切割，然后其中的一片芯片被送到了专用的电子扫描镜下进行放大观察。</p>
王道林一边解释道：“我们测试用的芯片，是一种集团里的低制程功能芯片，采用的是六十五纳米工艺，正好用来测试我们的DUV干式光刻机！”</p>
这一次测试，只是测试光刻机的可用性，可不考虑什么良品率之类的问题，因此只需要通过最基本的测试就过关。</p>
很快，电子扫描镜那边也陆续给出了图像，一群研究人员对着显示器里的密密麻的芯片内部，纳米级别的晶体管电路进行检查分析。</p>
而分析的过程里，可以看见那几个工程师脸上的笑容越来越盛。</p>
到了最后，其中一个工程师忍不住站起来：“成功了，我们成功了，光刻精度完全达到了设计要求！”</p>
这个时候，不等王道林说话，原本坐着的徐申学自己就站起来快步走了过去。</p>
然后看向屏幕里的大片让人看一眼就头晕的密密麻麻的晶体管电路图。</p>
王道林也跟上来：“终于是成功了，徐董，我们没有辜负您的期望，这DUV干式光刻机，我们总算是做出来了！”</p>
“只要现在的基本性能达到了设计指标，哪怕后续还存在一些问题，我们也可以后续慢慢改进，逐步提升销量，良率，然后用于实际生产！”</p>
徐申学道：“好，好的很！”</p>
“辛苦大家了，今天晚上我做东，大家都要来，我们不醉不归！”</p>
“然后，项目获得了成功，而我徐某人呢，除了有几个臭钱外也没其他的了，所有参与该项目研发的研发人员，这个月的绩效一律三倍发放，技术骨干另有奖金和期权奉上！”</p>
“除了整机项目外，各子系统的研发团队也一应如此！”</p>
“了解我的人都知道，我徐申学从不说假大空的话，这笔奖金我相信会让诸多满意的！”</p>
徐申学给钱大方，那可是出了名的……尤其是在一些重点研发领域里给奖金那是给的超级大方。</p>
智云微电子那边搞出来三十二纳米工艺，徐申学一次性就对研发团队发出去了超过三千万的奖金！</p>
光刻机领域里也不例外，徐申学老早就说过，等你们搞出来DUV干式光刻机的那一天，就是你们实现财富自由的时候。</p>
多了不敢说，但是整机项目以及各子系统里的核心技术人员，这一次的项目奖金足以让他们在深城买房安家，全款的那种！</p>
只要东西搞出来，哪怕几个亿奖金对于徐申学而言那都不算什么。</p>
和这个DUV干式光刻机的巨大意义比起来，这几个亿奖金算个屁！</p>
尽管DUV干式光刻机只能用于六十五纳米工艺，但是这东西却是DUV浸润式光刻机的前置技术。</p>
大量的子系统都是通用的，或者是改进后就能用的。</p>
这解决的是0-1的问题，后续DUV干式光刻机到DUV浸润式光刻机，那是1-9的问题。</p>
尽管1-9也非常困难，但是有了这个1打基础，那么后续搞起来才有目标，有头绪啊！</p>
有了这个DUV干式光刻机后，徐申学也就能够真正畅想数年后把DUV浸入式光刻机弄出来了。</p>
只要把DUV浸润式光刻机给弄出来，再配搭其他核心设备以及耗材，未来很多年都不用担心被制裁封锁了。</p>
因为DUV浸润式光刻机，使用多重曝光技术，是可以做出来等效7纳米的芯片的。</p>
甚至极端一些，都能做到等效5纳米的芯片，只不过成本会很高而已……</p>
全面可自主的等效7纳米芯片工艺技术，这对智云，对华夏的意义极其重大。</p>
而等效5纳米工艺的意义更大，哪怕它的生产成本比用EUV光刻机生产等效五纳米工艺的芯片高得多，甚至通常情况下都不具备商用价值！</p>
但是，其实际意义依旧重大，因为这解决的是有无问题！</p>
人家的EUV光刻机制造的五纳米，甚至三纳米，二纳米的芯片，尤其AI芯片那是各种好，问题是你买不到啊……</p>
这个时候，自家如果有等效五纳米工艺的芯片，尤其是AI芯片，也能勉强顶上去，性能差一些总比没有强！</p></div>